今天解放军的仪器宣布烛光^®用于功率器件应用的8520缺陷检测系统。它是坎德拉的继承者^®CS920系统，首个将关键任务形貌和晶体缺陷的检测和分类集成到一个平台上的检测系统。坎德拉8520的速度是其前身的两倍多，有助于加速提高产量，以满足快速增长的电力设备市场。

Candela 8520晶圆检测系统具有关闭关键缺陷检测间隙的能力，如裸晶圆上的堆叠错误和外延生长后的基面位错。该系统还具有分析工具，如刀具缺陷审查，模具分级和轮廓映射。它可以生成一个全面的检查报告，帮助过程工程师驱动准确的纠正行动。

Candela 8520结合了五种互补的检测技术，可以结合使用来对多种缺陷进行细微的区分，如微管和微坑、胡萝卜和基面位错、堆积错误和台阶聚束，等，同时也捕捉到可以困扰SiC衬底和SiC外延过程控制的较大的形貌缺陷。

在单个平台上结合暗场、亮场、斜率、相位和光致发光技术，提高了吞吐量，为电力设备制造商提供了高价值。

为了保持高性能和生产力，坎德拉8520检查系统的支持昆山航空的全球综合服务网络．

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