今天，KLA公beplay体育下载2司宣布了我们的新Surfscan®SP7XP薄片缺陷检测系统. 这位Surfscan检查员家族的新成员发现裸晶片和橡皮布薄膜上的最小缺陷和瑕疵，帮助半导体基板、设备、材料和芯片制造商达到生产最先进芯片所需的严格制造质量标准。这确保了电子设备中使用的芯片的功能性和可靠性，因此您可以继续远程连接、虚拟探索和无休止的发现。
KLA的多学科工程师团队开发了确保我们的Surfscan SP7的技术XP无图案晶片检测系统解决了与先进半导体芯片集成相关的广泛挑战。无论是发现阻碍最新晶体管技术发展的缺陷，还是实现大批量生产过程监控所需的检测灵敏度和速度，Surfscan SP7都是行业面临的挑战XP有能力直面这些挑战。
最终的敏感性12.5nm检测模式的引入与新型低噪声传感器相结合，提供了先进基板、半导体设备或芯片制造中研发路径所需的终极检测灵敏度。
生产力高通量现在可用于大批量生产(HVM)的检测模式，增加了小型设计节点和高端薄膜应用的半导体fab容量。
正常照明(NI)正常照明用于快速检测独特的缺陷，如嵌入变形、划痕、滑动、残留和低材料对比度的缺陷。
相位对比度通道（PCC）使用正常或倾斜照明，新的相位对比度通道捕获具有弱散射的缺陷类型，如浅凸起和残留，并提高灵敏度。
基于图像的分类:(IBC)Surfscan SP7XP将革命性的机器学习算法应用到缺陷图像中，精确地对缺陷进行分类，从而加快查找缺陷根源的时间。IBC还有助于更快地建立分类配方，同时提高分类准确性和纯度。
Z7™分类引擎传统的破坏性测量技术，即使用聚焦离子束(FIB)对衬底进行横截面，并用扫描电子显微镜(SEM)成像，可以通过引入新的Z7™多通道缺陷分类算法最小化。这种创新的新型分类引擎能够对3D NAND和其他厚膜监测应用程序的嵌入缺陷进行分类，便于故障排除，并与在线监测建立更强的相关性。
冲浪服务器®SurfServer配方管理系统简化了配方的可移植性，并有助于简化车队管理。配方分发系统(RDS)功能允许用户创建配方，并将它们同步到他们工厂的所有工具，从而更快地设置配方。
有关Surfscan SP7的更多信息XP无图案晶圆检查系统，请访问产品页，见我们的新闻稿，或访问我们的虚拟摊位日本半导体公司！
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