芯片制造是一个由上千个工艺步骤组成的过程。为了高效、快速地从裸硅到最终功能芯片，每一步都需要极高的精度和控制。我们的新航海家^®1035激光扫描图案化晶圆检查员通过监控斜坡和批量生产过程中的关键工艺步骤，帮助指导芯片制造。通过在线查找和标记关键缺陷，Voyager 1035 inspector有助于确保工艺步骤保持在成功芯片生产的道路上。

“航行者”号^®1035型激光扫描晶片检测系统

作为先进逻辑和内存芯片制造的在线缺陷监测器，Voyager 1035提供了灵敏度、速度和拥有成本的最佳平衡。对于关键过程监控应用，Voyager 1035采用独特的体系结构、深度学习算法和多种先进技术，以高吞吐量产生业界最佳的激光扫描灵敏度。这确保了晶圆厂工程师及时收到可采取措施的缺陷数据，以便采取纠正措施，保持芯片生产正常进行。

DefectWise^®深度学习技术可以快速、轻松地将感兴趣的真正缺陷与麻烦区分开来，同时提高对重要的DOI的敏感性

航海家1035的标志性特征是“缺陷”^®深度学习技术。DefectWise提供快速、在线分离感兴趣的缺陷与图案噪声和干扰缺陷，从而提高了灵敏度并提高了关键缺陷的捕获率。通过产生准确的缺陷分类结果，DefectWise减少了制造厂工程师理解和纠正工艺偏差所需的时间。

旅行者1035驱动灵敏度和生产率的其他关键特性包括:

• 行业独特的倾斜照明和外部透镜设计降低了检查噪音，提高了缺陷捕获率
• 行业最大的整体立体角收集产生更多的信号到关键缺陷，同时也捕获信号从更多的缺陷类型
• 三个隔离通道可实现数据收集策略，从而产生强缺陷信噪比

• 新型传感器QE(量子效率)提高了30%，提高了通量和灵敏度，可用于EUV光刻的精细光刻剂的低剂量检测，如开发后检测(ADI)和光电池监测(PCM)
• 新的像素尺寸选项比上一代Voyager提高了>20%的分辨率，提高了对非常小的、与产量相关的缺陷类型的灵敏度

Voyager 1035–新的传感器技术采用新的像素尺寸，以提高灵敏度和分辨率，从而提高微小间隙缺陷的捕获率。

更多关于旅行者1035如何支持芯片制造之旅的信息可以在产品页面。

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