展览23.1独立会计师同意我们特此同意参考公司的注册声明形式S-8(33 - 15784号2 - 71584号2 - 75314号33 - 26002号33号- 42973号33 - 42982,33 - 42975号33号- 55362号33 - 88662,333 - 03003,333 - 22939,333 - 22941,333 - 26681,333 - 32537号333-45271、333-60887、333-60883、333-68423、333-68415、333-85121、333-85123、333-46598、333-49766、333-49828、333-60864、333-60866、以及No. 333-75944)，以及构成2002年7月31日与财务报表和财务报表附表有关的KLA-Tencor公司报表S-3注册声明(No. 333-52393)的招股说明书，该招股说明书出现在本10-K年度报告中。/ s /普华永道圣何塞,加州2002年9月20日 - ---------------------------------