表格4实益所有权变更声明[]如果不再受第16条约束，请勾选此框。表格4或表格5的义务可以继续。1.报告人的姓名和地址，坎帕纳，约翰·彼得，Menalto路12233号。加州洛斯阿尔托斯山，94022发行人名称及股票或交易代码KLA-Tencor Corporation (kla)如果是实体，申报人员的身份证号(自愿)2003年2月28日(月、日、年)报表如需修改，原日期(月/日/年)申报人与发行人的关系(请在所有适用的表格上填上)[]董事[]10%所有者[X]高级管理人员(请在下面注明头衔)[]其他(请在下面注明)副总裁及财务主管 Individual or Joint/Group Filing (Check Applicable Line) [X] Form filed by One Reporting Person [ ] Form filed by More than One Reporting Person

表我衍生证券收购、处置或实益拥有 - ------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------ 1)标题的安全2)反式- 3。反式- 4。已收购的证券(A) 5)金额6)7)诉讼性质诉讼或处置的证券(D)证券间接日期代码A受益日期代码D受益日期(月/或拥有日或拥有日/年)代码V金额D价格第1月底------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------- 普通股02/28/03 S 324 D $35.6900 0 D直接

表二(第1部)收购、处置、或实益拥有(列1到6 ) - ------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------ 1) 2)转换3)导数的反式- 4)反式- 5)数量的导数6)可操作的日期和安全或锻炼行动行动证券收购(A)过期日期的日期代码或处理(D)衍生证券代码V D可实行的过期 - ------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------ 非限制性股票期权$31.8125 12/22/10(购买权)非限制性股票期权$34.6700 01/28/13(购买权)非限制性股票期权$37.0500 11/08/12(购买权)非限制性股票期权$29.3100 10/02/11(购买权)

表II(第2部)或实益拥有(列1、3和7到11 ) - ------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------ 1)标题3)导数的反式- 7)标题和8)价格9)10)11)的本质安全行动的潜在德里-导数间接证券vative证券D有益的数量或安全有利的方面或所有权的拥有我,月底标题股票 - ------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------ 非合格股票期权普通股16,730 16,730 D直接(购买权)非合格股票期权普通股6,500 6,500 D直接(购买权)非合格股票期权普通股3,250 3,250 D直接(购买权)非合格股票期权普通股19,500 19,500 D直接(购买权) 回答解释:——购买423员工股票计划下的324股。

签署人/签署人:Stuart J. Nichols签署人:John Peter Campagna日期:02/28/03