以下签署人，作为KLA-Tencor公司(以下简称“公司”)的高级职员或董事，特此组成并任命Stuart J. Nichols和John H Kispert，他们中的每一个人，签名者的真正的和合法的代理人和经纪人完成和执行144年这样的形式,形式3、4和5和其他形式等律师应当在他或她的自由裁量权或明智的决定需要按照144规则下颁布1933年的证券法案(修改),根据1934年《证券交易法》第16条(修订后)及其颁布的规则和规章，或任何后续法律和规章，以下签署人对公司证券的所有权、收购或处置，并采取一切必要的行动，向证券交易委员会、任何证券交易所或全国性协会、公司和律师认为合适的其他个人或机构提交该等表格。以下签署人在此批准并确认上述事实代理人和代理人通过本协议所做的或促使其所做的一切。这个有限的委托书应当留在完整的力量和效果,直到不再需要签署文件形式3、4和5的签名人持有的公司发行的证券和交易,除非撤销早些时候签署的一个写作交付给上述attorneys-in-fact。本有限授权委托书于下列日期签署。签名日期:2003年11月6日证人:吉尔卡塔赫纳日期:2003年11月6日