展览23.1
独立注册会计师事务所同意
我们特此同意参考表格S-3(333-150473)和表格S-8(33-26002、33-42973、33-42975、33-88662、333-03003、333-22939、333-22941、333-26681、333-32537、333-45271、333-60883、333-60887、333-68415、333-68423、333-85121、我方报告日期:kal - tencor公司编号:333-85123、333-49828、333-60864、333-75944、333-100166、333-113358、333-120218、333-121637、333-129868、333-140743、333-144003、333-147434、333-147437、333-152864、333-159017、333-162887、333-168618和333-192167)
2014年8月8日
，有关合并财务报表、财务报表附表及财务报告内部控制的有效性，载于本表格10-K。
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/ s /普华永道
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加州圣何塞
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2014年8月8日
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