附录23.1 [MOHLER, NIXON & WILLIAMS信纸抬头]独立会计师的同意我们在此通过参考我们2001年11月7日报告中KLA-Tencor公司表格S-8 (no . 333-60866, no . 333-49766和no . 333-46598)的注册声明，同意成立公司。与本表格11-K中所载的KLA-Tencor 401(k)计划的财务报表有关。MOHLER, NIXON & WILLIAMS会计公司，坎贝尔，加利福尼亚，2001年12月20日