展览23.1独立会计师同意我们特此同意这个注册的公司通过引用声明形式S-8我们的报告日期为7月31日,2001年,有关KLA-Tencor公司的财务报表,在KLA-Tencor 10 - k公司的年度报告形式今年截至6月30日,2001年。本公司亦参考本公司于二零零一年七月三十一日就财务报表附表所提交的报告(载于表格10-K)，同意法团成立。/s/普华永道会计师事务所(PricewaterhouseCoopers LLP)，加州圣何塞，2001年12月21日