EXHIBIT 5.1[信头]2001年12月26日KLA-Tencor Corporation 160里约热内卢Robles San Jose, CA 95134 RE:表格S-8上的注册声明女士们先生们:我已经审核了将于2001年12月21日或前后提交给证券交易委员会的表格S-8上的注册声明(“注册声明”)，该声明与根据1933年证券法(经修订)进行的注册有关。根据修订后的1982年股票期权计划(“1982计划”)预留发行的额外5,610,752股KLA-Tencor普通股，以及根据修订后的1997年员工股票购买计划(“1997计划”)预留发行的2,000,000股KLA-Tencor普通股。此类普通股在本协议中称为“股份”。作为法律顾问，我已审查了就根据1982年计划和1997年计划发行的股份的发行、出售和对价支付所采取的和拟议采取的程序。这是我的观点,当发行和出售符合适用的招股说明书交付要求和方式称为1982计划、1997计划和按照协议陪1982计划和1997年计划,股票将合法和有效,充分支付和non-assessable。beplay官网ued本人同意将此意见用作注册声明的证据，并进一步同意在注册声明及其任何修订中出现的任何地方使用本人的姓名。真诚,/ s /斯图亚特·j·尼科尔斯 ---------------------------------------- 斯图尔特·j·尼克尔斯副总裁KLA-Tencor总法律顾问公司