附件23.1独立会计师的同意我们在此同意参考1994年7月26日的报告中KLA仪器公司表格S-8(编号33-15784、2-71584、2-75314、33-26002、33-42973、33-42982、33-42975和33-55362)的注册声明成立公司。载于1994年致股东周年报告第24页，该报告已纳入本年度报告(表格10-K)内。本公司亦同意参阅本公司财务报表附表所载的报告(见本表格10-K第20页)。1994年9月27日，美国加利福尼亚州圣何塞市