附件23.1独立会计师的同意在此，我们在1995年7月26日的报告中，根据KLA仪器公司表格S-8(编号33-15784、2-71584、2-75314、33-26002、33-42973、33-42982、33-42975和33-55362)的注册声明，同意成立公司。载于本年报(表格10-K)所载的《致各位股东周年报告》第26页。1995年9月27日，美国加利福尼亚州圣何塞市