证物5意见的合法性(灰色cary ware & freidenrich信笺头)我们的文件编号。美国证券交易委员会1996年4月26日，华盛顿特区，第五街450号，KLA INSTRUMENTS CORPORATION -注册声明表格S-8登记在1982年股票期权计划下可发行的股票作为特拉华州公司KLA仪器公司(以下简称“公司”)的法律顾问，我们就根据《1933年证券法》(经修订)注册的多达220万股普通股(票面价值0.001美元)发表beplay官网ued此意见。根据行使根据1beplay官网ued982年股票期权计划(“计划”)授予的期权而发行的股票。我们已经检查了所有我们认为相关和必要的文书、文件和记录，以作为我们在下文表达意见的基础。在该等审查中，我们已假定所有签名的真实性和提交给我们的所有正本文件的真实性，以及提交给我们的所有副本文件的真实性。本公司仅获准在加利福尼亚州执业，除加利福尼亚州法律、特拉华州公司法和美国联邦法律外，本公司不就任何法律表达意见。关于特拉华州公司法事宜，我们的意见完全基于我们对该等法律以及执行该等法律的当局的规章制度的审查，所有这些都以标准的、非官方的汇编形式报告。我们没有获得在加利福尼亚州以外的司法管辖区执业的律师的意见。基于这样的检查,我们认为,2200000年的股票发行的普通股可能在计划正式授权下行使的期权授予的股票公司的普通股,,当你发出支付购买价格因此依照本法规定的计划,beplay官网ued will be validly issued, fully paid and non-assessable. We hereby consent to the filing of this opinion as an exhibit to the Registration Statement referred to above and the use of our name wherever it appears in said Registration Statement. Respectfully submitted, /s/ GRAY CARY WARE & FREIDENRICH -------------------------------------- GRAY CARY WARE & FREIDENRICH A Professional Corporation