附件23.1独立会计师的同意我们特此同意参考KLA仪器公司表格S-8(编号33-15784、2-71584、2-75314、33-26002、33-42973、33-42982、33-42975、33-55362、33-88662和333-03003)中的注册声明成立公司。载于载于本年报(表格10-K)的1996年股东周年报告第24页。1996年9月26日