展览5.1 1997年3月7日KLA Instruments Corporation 160 Rio Robles San Jose，CA 95134 Re：注册声明S-8女士们，先生们：我们已经审查了关于S-8的注册声明，由您提交了证券和证券1997年3月7日或3月7日的交易所委员会（“注册声明”），与1933年“证券法”下的“注册”，如修订，（i）在1982年股票期权下保留发行的普通股票的1,600,000股计划（“股票计划”）和（ii）在第二次重述1981年雇员股票采购计划（“采购计划”）下为发行的股票保留800,000股。在股票计划下保留的1,600,000股普通股和购买计划保留的800,000股普通股份中，以“股份”和“股票计划”和“股票计划”和“购买计划”中统称为“股票计划”，并将其统称为“计划。“作为您的法律顾问，我们已经审查了所采取的诉讼程序，并提出与发行，销售和支付在计划下签发的股票审议。我们认为，在遵守适用的招股说明书的情况下签发和销售时，并按计划提到的方式和根据计划的协议销售，股份将合法且有效地发布，全面支付和非beplay官网ued可评估。我们同意使用这种意见作为注册声明的展览，并进一步同意在注册声明和任何修正案中出现的任何职位。诚挚，Wilson Sonsini Goodrich＆Rosati Professional Corporation / S / Wilson Sonsini Goodrich＆Rosati