附件23.6 MERRILL LYNCH, PIERCE, FENNER & SMITH INCORPORATED的同意我们特此同意使用我们于1997年1月14日写给KLA仪器公司(“KLA”)董事会的意见书。作为KLA的联合代理声明/招股说明书的附件E，构成自表格S-4之日起关于KLA的全资子公司Tiger Acquisition Corp与Tencor Instruments的拟议合并的注册声明的一部分。并在标题“摘要-公平意见”和“批准合并及相关交易- KLA财务顾问意见-美林意见”下引用该意见。在作出上述同意时，我们并不承认我们属于根据《1933年证券法》(修订后的)第7条或证券交易委员会(sec)根据该法案制定的规则和条例需要获得同意的人，因此，我们也不承认我们是《1933年证券法》(经修订)中使用的术语“专家”所指的注册声明的任何部分的专家，或根据该法案修订的证券交易委员会的规则和条例。MERRILL LYNCH, PIERCE, FENNER & SMITH公司由:/s/ Mark Shafir ------------------------- 1997年3月11日