KLA Instruments Corporation 160里约热内卢Robles San Jose, CA 95134 RE:表格S-4上的注册声明女士们先生们:我们检查登记声明形式4被你提起与美国证券交易委员会(sec)或关于这个日期(“注册声明”),与登记在1933年的证券法案,修订,普通股股票,每股面值0.001美元(“股票”)。作为贵方与本交易有关的法律顾问，我方已审查了已采取的法律程序，并熟悉贵方拟采取的与股份销售和发行有关的法律程序。是我们认为的结论诉讼被或考虑我们作为你的顾问,是发行股票前,完成后,程序被为了允许进行此类交易按照证券法的所需的各种状态,当股份以登记声明中描述的方式发行和出售时，将是合法和有效发行的，已足额支付且不应纳税。我们同意使用本意见作为注册声明的展示，并进一步同意在注册声明中出现的任何地方使用我们的名称，包括构成该声明的一部分的联合委托书/招股说明书及其任何修订。WILSON SONSINI GOODRICH & ROSATI专业公司/s/ WILSON SONSINI GOODRICH & ROSATI