展览99.2 TENCOR仪器代理请求代表董事会3月18日1997 P的签署股东TENCOR仪器(R“公司”),特此任命乔恩·d·汤普金斯和布鲁斯·R·赖特和O每个替代的力量,真正的和合法的X律师,代理和proxyholders签署,beplay官网uedY特此授权代表和投票,规定,所有公司的普通股股票由我司全部记录3月7日,1997年,在公司的股东特别会议将在4月30日举行,1997年(“特别会议”),上午10点在公司的总部在一个技术驱动,beplay官网ued密尔皮塔斯，加州，95035及任何延期或延期。[X]请像本例中那样标记选票。该代理所代表的股份将以指定的方式进行投票。在没有任何方向的情况下，股票将被投票支持该提案。以下签署人确认已收到与特别会议有关的特别会议通知及联合代理声明/招股说明书。批准并通过本公司、KLA Instruments Corporation(“KLA”)和Tiger Acquisition Corp.于1997年1月14日签订的[][][]协议和反对弃权重组计划，以及相关的合并协议，beplay官网ued根据该协议，本公司将成为KLA的全资子公司，beplay官网ued本公司的每股普通股将转换为获得KLA每股面值0.001美元的一股普通股的权利。请在此处注明地址[]，并在左侧注明姓名。 Joint owners should each sign. Trustees and others acting in a representative capacity should indicate the capacity in which they sign and give their full title. If a corporation, please sign in full corporate name by an authorized officer. If a partnership, please sign in partnership name by an authorized person. Please mark, sign and date this proxy and return it promptly whether you plan to attend the meeting or not. If you do attend, you may vote in person if you desire. Signature:________________Date:________Signature:________________Date:_________