独立会计师的同意我们特此通过在1996年8月7日的报告中表格S-8的注册声明中提及的同意成立公司，该注册声明出现在KLA工具公司年度报告的第24页，，已载于科乐仪器有限公司截至一九九六年六月三十日的年度年报(表格10-K)内。/s/ Price Waterhouse LLP Price Waterhouse LLP加州圣何塞，1997年5月7日