展览5.1 [信笺] 1997年5月7日KLA-Tencor Corporation 160 RIO ROBERS SAN JOSE，CA 95134 RE：关于S-8女士们的注册陈述，先生们：我们已经审查了您的表格S-8的注册声明与1997年5月7日的证券交易委员会（“注册声明”）与1933年证券法案的注册有关，如修订，其普通股票的3,133,335股股份，每股价值0.001美元（“股份”）根据Tencor Instruments发出第二次修订并重申1984年股票期权计划，Tencor Instruments修订并重述1993年股权激励计划，Tencor Instruments 1993 NoneMovene董事股票期权计划，Tencor Instruments 1993员工股票购买计划，Tencor仪器1993年外国子公司雇员股票购买计划，1983年员工激励股票选项Prometrix Corporation和1993年雇员激励股票期权计划Prometrix Corporation（统称，“计划”）。作为您的律师与本次交易有关，我们审议了所采取的诉讼程序，并熟悉您根据计划发行和销售股份所采取的诉讼程序。我们认为，当以计划中描述的方式发布和销售并根据每项拨款的协议签发，股份将合法且有效地发布，全面支付和不可评估。beplay官网ued我们同意使用这种意见作为注册声明的展览，并进一步同意在注册声明和任何修正案中出现的任何职位。非常真实您的，Wilson Sonsini Goodrich＆Rosati / S / Wilson Sonsini Goodrich＆Rosati