展览5.1 [信笺] 1997年5月7日KLA-Tencor Corporation 160 RIO ROBERS SAN JOSE,CA 95134 RE:关于S-8女士们的注册陈述,先生们:我们已经审查了您的表格S-8的注册声明与1997年5月7日的证券交易委员会(“注册声明”)与1933年证券法案的注册有关,如修订,其普通股票的3,133,335股股份,每股价值0.001美元(“股份”)根据Tencor Instruments发出第二次修订并重申1984年股票期权计划,Tencor Instruments修订并重述1993年股权激励计划,Tencor Instruments 1993 NoneMovene董事股票期权计划,Tencor Instruments 1993员工股票购买计划,Tencor仪器1993年外国子公司雇员股票购买计划,1983年员工激励股票选项Prometrix Corporation和1993年雇员激励股票期权计划Prometrix Corporation(统称,“计划”)。作为您的律师与本次交易有关,我们审议了所采取的诉讼程序,并熟悉您根据计划发行和销售股份所采取的诉讼程序。我们认为,当以计划中描述的方式发布和销售并根据每项拨款的协议签发,股份将合法且有效地发布,全面支付和不可评估。beplay官网ued我们同意使用这种意见作为注册声明的展览,并进一步同意在注册声明和任何修正案中出现的任何职位。非常真实您的,Wilson Sonsini Goodrich&Rosati / S / Wilson Sonsini Goodrich&Rosati