展览5.1 ---------- [信笺] 1997年7月31日KLA-Tencor Corporation 160 RIO ROBERS SAN JOSE，CA 95134 RE：关于S-8女士们，先生们的注册声明：我们已经审查了注册关于或大约1997年7月31日或大约在1997年7月31日（注册声明“），与1933年证券法的登记有关，如1993年第1933年的”注册“，如2,501,603股股份根据1982年股票期权计划，您的常见股票保留在1982年股票期权计划下（“股票计划”）。根据“股票计划”保留的2,501,603股普通股股票在下文中称为“股份”。作为您的法律顾问，我们已经审查了所采取的诉讼程序，并提出与发行，销售和支付在该计划下发布的股份的审议进行。我们认为，在遵守适用的招股说明书的情况下发布和销售时，该计划中提到的方式和根据该计划的协议销售，股份将在法律上且有效地发布，全面支付和非beplay官网ued可评估。我们同意使用这种意见作为注册声明的展览，并进一步同意在注册声明和任何修正案中出现的任何职位。诚挚，Wilson Sonsini Goodrich＆Rosati Professional Corporation / S / Wilson Sonsini Goodrich＆Rosati