展览5.1 [信头] 1998年1月30日KLA-Tencor Corporation 160 RIO ROBERS San Jose，CA 95134 Re：注册声明S-8女士们，先生们：我们已经审查了您的S-8表格的注册声明与1998年1月30日或1月30日的证券交易委员会（“注册声明”）有关1933年“证券法”的注册，如修订，其中一个额外的800,000股普通股，保留在第二份下发行修订并重申1981年雇员股票采购计划，200,000股普通股股份于1997年雇员股票采购计划（集体，“股份”）（集体，“计划”）下保留。作为您的法律顾问，我们已经审查了所采取的诉讼程序，并提出与发行，销售和支付在计划下签发的股票审议。我们认为，在遵守适用的招股说明书的情况下签发和销售时，并按计划提到的方式和根据计划的协议销售，股份将合法且有效地发布，全面支付和非beplay官网ued可评估。我们同意使用这种意见作为注册声明的展览，并进一步同意在注册声明和任何修正案中出现的任何职位。诚挚，Wilson Sonsini Goodrich＆Rosati Professional Corporation / S / Wilson Sonsini Goodrich＆Rosati