展览23.1独立会计师同意我们在此同意通过参考文献在1997年7月28日关于我们报告的第297号表格S-3的招股说明书中纳入本地章程，该股份有限公司将于1997年年度报告到斯托克斯斯托克斯KLA-Tencor Corporation，该公司在截至1997年6月30日止年度截至克拉腾尔的年度报告中，纳入克拉 - 腾森举行的年度报告。我们还同意在此类招股说明书中的“专家”标题下提及美国。价格Waterhouse LLP San Jose，加利福尼亚州5月8日，1998年5月8日