附录5.1 1998年5月11日KLA-Tencor Corporation 160里约热内卢Robles San Jose, CA 95134 RE: REGISTRATION STATEMENT ON FORM S-3女士们，先生们:我们检查登记声明形式s 3被你提起与美国证券交易委员会(sec)日期或到期(“注册声明”)与登记在1933年的证券法案,修订,高达1800000股普通股(“股票”)。所有股份均已发行及流通，并可为登记声明中指明的出售股东的利益出售。我们理解该等股份将不时在纳斯达克全国市场以现行价格或注册声明中另行描述的价格出售。作为贵方的法律顾问，我方也审查了贵方与股份发行有关的诉讼程序。我方假定贵方在每次股票发行中收到的对价将包括现金形式的金额，提供的服务或财产超过(i)该等股份的总票面价值或(ii)该等对价中由公司董事会根据特拉华州一般公司法认定为“资本”的部分。beplay官网ued根据上述规定，我们认为该等股份是有效发行、全额支付且不需评估的。我们同意使用本意见作为《注册声明》的附件，并进一步同意在《注册声明》中出现的任何地方使用我们的名称，包括构成其部分的招股说明书及其任何修订。WILSON SONSINI GOODRICH & ROSATI Professional Corporation /s/ WILSON SONSINI GOODRICH & ROSATI