附录23.1独立会计师的同意我们在此通过引用我们1997年7月28日的报告中表格S-8的注册声明来同意成立公司，该注册声明出现在1997年KLA-Tencor公司的股东年度报告的第30页，以参考方式纳入KLA-Tencor公司截至1997年6月30日的10-K表格年报。/s/PricewaterhouseCoopers LLP - ------------------------------- PricewaterhouseCoopers LLP加州圣何塞，1998年8月3日