EXHIBIT 5.1[信纸抬头]1998年8月7日KLA-Tencor Corporation 160里约热内卢Robles San Jose, CA 95134 RE:表格S-8的注册声明女士们先生们:我们已经审核了您将于1998年8月7日或大约8月7日向证券交易委员会提交的表格S-8上的注册声明(“注册声明”)，该声明与根据1933年证券法(经修订)进行的注册有关。根据超额利润股票计划(下称“计划”)预留发行的30万股普通股(下称“股份”)。作为您的法律顾问，我们已审查了就“计划”下将要发行的股份的发行、出售和对价支付所采取的和建议采取的诉讼程序。我们认为，当按照适用的招股说明书交付要求，按照计划中提到的方式，并按照计划中附带的协议发行和出售时，股份将合法有效地发行、足额支付和不纳税。beplay官网ued我们同意将此意见作为注册声明的展示，并进一步同意在注册声明及其任何修订中出现的任何地方使用我们的名称。真诚,WILSON SONSINI GOODRICH & ROSATI专业公司/ s / WILSON SONSINI GOODRICH & ROSATI ---------------------------------------