附录5.1[信头]1998年8月6日KLA-Tencor Corporation 160里约热内卢Robles San Jose, CA 95134 RE: REGISTRATION STATEMENT ON FORM S-8女士们，先生们:我们已经审查了您将于1998年8月7日或前后向证券交易委员会提交的表格S-8上的注册声明(“注册声明”)，该声明与1933年《证券法》(经修订)下的注册有关，根据1982年股票期权计划(经修订的“股票计划”)保留发行的2,618,837股普通股。在股票计划下保留的2,618,837股普通股以下称为“股票”。作为贵方的法律顾问，我们已审查了与根据该计划发行的股份的发行、出售和支付对价有关的程序，并拟采取这些程序。我们认为，当按照适用的招股说明书交付要求，并按照该计划中提及的方式以及该计划附带的协议发行和出售时，该股份将是合法有效发行、全额支付和不可评估的。beplay官网ued我们同意使用本意见作为《注册声明》的附件，并进一步同意在《注册声明》及其任何修订中使用我们的名称。真诚,WILSON SONSINI GOODRICH & ROSATI专业公司/ s / WILSON SONSINI GOODRICH & ROSATI -----------------------------------------