展览23.1独立会计师同意我们特此同意参考公司的注册声明形式S-8(33 - 15784号2 - 71584号2 - 75314号33 - 26002号33号- 42973号33 - 42982,33 - 42975号33号- 55362号33 - 88662,333 - 03003,333 - 22939,333 - 22941,333 - 26681,333 - 32537号333 - 45271号333 - 60887号和333号- 60883)和在招股说明书的组成部分注册声明形式s 3号(333 - 52393)KLA-Tencor公司的报告日期为7月28日,1998出现34页的股东的年度报告,这是10 - k纳入本年度报告形式。1998年9月28日，加州圣何塞