展览23.1独立会计师的同意于此同意通过参考文件S-8的注册声明（第33-15784号，第2-71584号，第2-71584号，第2-75314号，No.335314号，No.33-26002号。33-42973,33-42982，美国专利3,3-42975，美国专利3,3-55362，美国专利3,3-88662，美国专利3,33-03003，333-03003号，333-03003号，333-22939号，333-22939号，333-22941号，333-22941号，333-22941号26681,333-32537，第333-32537号，333-45271号，333-60887和第333-60883号，第333-60833号33.3-60883），并在招股说明书中构成了关于S-3形式的注册陈述（第333-52393号）的一部分Kla-Tencor公司2018年7月28日的报告日期为股份，该报告于本年度报告第34页，该报告于本年度报告中纳入了1998年的表格10-k。PricewaterhouseCoopers LLP San Jose，加利福尼亚州1998年9月28日