EXHIBIT 5.1 [Wilson Sonsini Goodrich & Rosati Letterhead] 1998年12月4日KLA-Tencor Corporation 160里约热内卢Robles San Jose, CA 95134 RE: REGISTRATION STATEMENT ON FORM S-8女士们、先生们:我们已经审查了表格S-8上的注册声明，您将于1998年12月4日或前后向证券交易委员会提交注册声明(“注册声明”)，与1933年证券法下的注册有关，根据1998年外部董事期权计划(“计划”)预留发行的1,000,000股普通股(“股份”)。作为贵方的法律顾问，我们已审查了与根据该计划发行的股份的发行、出售和支付对价有关的程序，并拟采取这些程序。我们认为，当按照适用的招股说明书交付要求，并按照该计划中提及的方式以及该计划附带的协议发行和出售时，该股份将是合法有效发行、全额支付和不可评估的。beplay官网ued我们同意使用本意见作为《注册声明》的附件，并进一步同意在《注册声明》及其任何修订中使用我们的名称。真诚的，WILSON SONSINI GOODRICH & ROSATI专业公司/s/ WILSON SONSINI GOODRICH & ROSATI