展览23.1独立会计师同意我们特此同意参考公司的注册声明形式S-8(33 - 15784号2 - 71584号2 - 75314号33 - 26002号33号- 42973号33 - 42982,33 - 42975号33号- 55362号33 - 88662,333 - 03003,333 - 22939,333 - 22941,333 - 26681,333 - 32537号第333-45271、第333-60887、第333-60883、第333-68423、第333-68415、第333-85121、第333-85123、第333-46598、第333-49766、第333-49828、第333-60864、第333-60866)以及作为我们7月31日报告的KLA-Tencor Corporation S-3注册声明(第333-52393号)一部分的招股说明书中，2001年与财务报表和财务报表附表有关的财务报表和财务报表附表，出现在本年度报告的表格10-K中。/s/普华永道有限公司，加州圣何塞，2001年9月21日