展览23.1.

独立注册公共会计师事务所的同意

在此，我们同意通过参考文件S-3（第333-150473号）的注册陈述并表格S-8（第33-26002号，No.33-42973号33-42975号。33-88662，美国专利333-03003，美国专利333-22941，美国专利号333-26681，美国专利号333-32537，美国专利号333-32537，美国专利3,33-45271，美国专利3,33-45271，美国专利号333-60883，美国专利号333-60883，第333-60883号，333-60883号，333-60887号，333-60887号68415,333-68423，美国专利333-68423，美国专利3,33-85123，美国专利3,33-46598，美国专利3,33-49766，美国专利号333-49766，美国专利号333-49828，美国专利号333-49828，333-49828号，333-60864号，333-60864，333-60866，美国专利333-75944，美国专利333-100166，美国专利333-100166，美国专利3,33-110218，美国专利号333-120218，美国专利号333-121637，美国专利号333-129868，美国专利3,33-129868，美国专利号333-129868，美国专利号333-129868，美国专利号333-140743，美国专利3,33-140743，333-140743号，333-140743号。333-147434和第333-147437号和第333-147437号KLA-Tencor公司于2008年8月7日，与综合财务报表，财务报表日表和内部控制的有效性有关的财务报告的综合报告，这在此表格中出现-k。

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圣何塞，加利福尼亚州

2008年8月7日