展览23.1.

独立注册公共会计师事务所的同意

在此，我们同意通过参考文件S-3（第333-150473号）的注册陈述并表格S-8（第33-26002号，No.33-42973号33-42975号。33-88662，美国专利333-03003，美国专利333-22941，美国专利号333-26681，美国专利号333-32537，美国专利号333-32537，美国专利3,33-45271，美国专利3,33-45271，美国专利号333-60883，美国专利号333-60883，第333-60883号，333-60883号，333-60887号，333-60887号68415,333-68423，美国专利333-85121，美国专利333-85123，美国专利3,33-49828，美国专利号333-60864，美国专利3,33-60864，美国专利3,33-75944，333-75944号，333-75944号，333-75944号，333-100166，No.333-100166，333-10166，333-133358，No. 333-120218, No. 333-121637, No. 333-129868, No. 333-140743, No. 333-144003, No. 333-147434, No. 333-147437, No. 333-152864 and No.333-159017）我们报告的KLA-Tencor Corporation，于2009年8月6日，与综合财务报表，财务报表日表和内部控制的有效性有关，在此表格10-K中出现。