展览5.1

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2019年1月31日

Kla-Tencor.公司

一项技术驱动

米尔皮塔斯，加州95305

RE：表格的注册声明S-4.

女士们，先生们：

我们已审查（1）表格的注册声明S-4.提起Kla-Tencor.公司（“公司”）与证券交易委员会（“beplay官网ued委员会”），注册美国专利号333-224982(such Registration Statement, as amended to date, the “Initial Registration Statement”) in connection with the registration under the Securities Act of 1933, as amended (the “Securities Act”), of shares of the Company’s Common Stock, par value $0.001 per share, to be issued in connection with the merger of Tiburon Merger Sub Technologies Ltd., a company organized under the laws of the State of Israel and a wholly owned subsidiary of the Company, with and into Orbotech Ltd., a company organized under the laws of the State of Israel, as described in the Initial Registration Statement (the “Transaction”) and (2) the Registration Statement on FormS-4.（这 ”462（b）注册声明“）根据”证券法“规则第462（B）提交，与该公司的普通股（”）有关额外的30,000股股份（“）beplay官网ued额外股份“），由公司发行交易。beplay官网ued462（b）注册声明通过参考委员会于2018年6月7日宣布委员会宣布的初始注册声明。作为公司与交易有关的法律顾问，我们审查了所采取的诉讼程序并熟悉beplay官网ued本公司提出的诉讼程序与交易中的额外股份有关。beplay官网ued

我们依赖于没有独立验证的，就从某些公司的官员获得的信息，就若干公司的事实物质的事项提供了以下意见。beplay官网ued

Based upon the foregoing, and subject to the qualifications set forth below, it is our opinion that, as of the date hereof, the Additional Shares have been duly authorized by all necessary corporate action on the Company’s part and, when issued in the manner described in the Initial Registration Statement, the Additional Shares will be validly issued, fully paid and不可评估。

在提出上面的意见时，我们假设462（b）注册声明根据证券法的第462（b）条是有效的（并在发布额外股份时仍然有效）。

我们对除特拉华州普通公司法律和美利坚合众国联邦证券法的任何法律上没有表达任何意见。

此意见仅与462（B）注册声明有关公司。beplay官网ued我们同意将此意见提交为展览5.1至462（b）注册声明，并在初始登记声明中出现的任何地方（包括构成其一部分的代理陈述/招股章程），参考我们的公司名称参考462（b）注册声明并入本文。在赋予这项同意时，我们不承认我们在证券法案第7条规定的第7条规定所需的人中，或者我们不承认我们是专家尊重的在证券法案中使用的“专家”一词的含义内的任何部分（b）注册声明，或者在“证券法”或委员会的规则和条例下。

非常真实你的，

/ s / wilson sonsini goodrich＆Rosati

专业公司

Wilson Sonsini Goodrich＆Rosati

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