展览5.1

2019年3月20日

Kla-Tencor.公司

一个技术驱动

米尔皮塔斯，加利福尼亚95035

回覆：	Kla-Tencor.公司-发行和销售总额为8亿美元的2029年到期的4.10%的高级债券和总额为4亿美元的2049年到期的5.00%的高级债券

女士们，先生们：

我们担任特别律师Kla-Tencor.公司，特拉华州的一家公司(以下简称“公司”)，与公司于2018年2月2日向证券交易委beplay官网ued员会(以下简称“委员会”)提交的注册声明有关S-3ASR（“注册声明”）根据1933年的“证券法”，如修订（“法案”），在根据第462（e）条颁布的法案下自动有效。注册声明与其他事情有关，拟议的发行和销售，债务证券的债务证券与在不同时间以不确定的价格发布的债务证券，依赖于规则456（b）beplay官网ued和第457（e）条例草案。

根据注册声明,该公司已发行了800000000美元本金总额4.10%高级指出beplay官网ued2029年到期(“2029”)和400000000美元的本金总额5.00%的高级指出2049年到期(“2049”,连同2029年指出的那样,“笔记”)依照一个契约,日期为11月6日,2014年(以下简称“契约”)，由本公司和富国银行、国家协会作为受托人(beplay官网ued以下简称“受托人”)签订，并于2019年3月20日交付高级船员证书。根据2019年3月13日的承销协议(“承销协议”)，本公司和摩根大通证券有限责任公司作为承销协议中指定的几家承销商的代表，出售了这些票据。beplay官网ued

我们已经审查了登记声明，以及其中的展品以及其中引入的文件;2018年2月1日日期为2018年2月1日的基本招股说明书，其中与参考资料纳入其中，提交注册声明（“基本招股说明书”）;2019年3月13日的初步招股章程补充剂，并根据权利第424（b）条与委员会提交的委员会提交的文件，与委员会第424（b）联系，与票据发布有关;最后的招股说明书，并在2019年3月13日，于2019年3月13日在第424（b）条关于提供票据的证券法案第424（B）条提交的表格中，与委员会（共同与基本招股说明书统称）提交的委员会，“招股说明书”）;契约;和笔记。此外，我们已经审查了我们认为我们认为相关和必要的其他文书，文件，证书和记录，以便我们的意见表达。在这种检查中，我们假设（i）原始文件的真实性和所有签名的真实性;（ii）根据副本向美国提交的所有文件的原件符合;（iii）我们审查的记录，文件，文书和证书中所载信息，陈述和保证的真相，准确性和完整性; (iv) the Underwriting Agreement has been duly authorized and validly executed and delivered by the parties thereto (other than the Company); (v) the legal capacity of all

Kla-Tencor.公司

2019年3月20日

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自然人;（vi）受托人拥有权力，企业或其他，进入并履行契约下的义务，并且契约将是受托人的有效和约束力。关于本文所表达的意见的任何事实物质没有独立建立或核实，我们依靠了本公司的官员和其他代表的口头或书面陈述和代表。beplay官网ued

对于除美利坚合众国联邦法律之外的任何司法管辖区的法律的任何事项，我们没有任何意见，该公司的联邦法律是特拉华州（“DGCL”）的一般公司法，以及新的国家法律约克，因此在此处的日期生效，我们没有询问，我们没有任何其他国家，州或司法管辖区的法规，法规，条约，常见法律或其他法律表达意见。

我们没有意见（i）任何破产，破产，重组，重组，安排，欺诈性运输，暂停或其他与债权人权利的效果，（ii）可能是赔偿和捐款的权利的影响适用法律或公平原则的限制，或（iii）股权一般原则的效果，包括唯一限制，物质性，合理性，诚信和公平交易的概念，司法自由裁量权的影响以及具体表现的可能不可用，无论是在股权或法律的诉讼中审议，禁令救济或其他公平的救济和加速权的限制。

在上述的基础上和依赖,并考虑法律方面的考虑,我们认为有关,并受其限制和本文所述的资格,我们建议您,在我们看来Notes有效发布,构成公司的有效和有约束力的义务,beplay官网ued根据其条款对本公司可强制执行，且附注有权享有契约beplay官网ued的利益。

我们同意将此看法提交作为上述注册声明的展览以及在注册声明，基本招股章程，招股说明书，招股说明书和任何修正案中或其补充中的任何修正案中使用我们的名称。在提供此类同意时，我们并不相信我们在此术语中的意义中是“专家”，如行为或委员会关于注册声明的任何部分签发的委员会的规则和条例，包括此意见展览或其他。