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결함결함名
冲浪士®시리즈
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비패턴웨이퍼결함결함사시스템
冲浪士®비패턴비패턴이퍼퍼사시스템시스템은반도체소자의성능과에영향을주는주는결함표면품질문제를식별식별파묻힌결함및표면결함을신속하게분리하고설비，공정및재료를검증하고모니터링하여IC，OEM，재료및기판제조를지원합니다。
응용분야
공정공정설비검증，설비모니터링，출하웨이퍼품질，입고웨이퍼품질，감광재감광재및스캐너，공정공정검증。
관련상품
Surfscan SP2XP.：≥45纳米설계노드기술을대상으로하는비패턴웨이퍼검사시스템。
Surfscan SP2：기술≥65nm설계노드노드노드를대상으로하는으로으로하는비패턴하는하는검검사요
Surfscan SP1DLS.亲：90nm이상의설계노드를으로으로비패턴웨이퍼퍼사시스템。
Surfscan SP1创伤性脑损伤亲：≥130nm설계노드기술을대상으로비패턴웨이퍼퍼사시스템。
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문의2835,2367
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광대역플라즈마패턴웨이퍼결함결함사시스템
2367年2835年및광대역플라즈마결함검사시스템은광학패턴결함검사에대해업계에서증명된성능을제공하여≥45纳米로직,메모리및특화소자에서수율에중대한영향을미치는결함을검출하고모니터링할수있습니다。각모델에는선택가능한파장빛입사,이미징픽셀,광학모드와노이즈억제및결함분리를위한고급알고리즘이고유하게장착되어있어가장중요한단계를위한비용효율적인인라인검사제어를제공합니다。
응용분야
인라인결함검출및모니터링,핫스팟검출,엔지니어링분석,공정마진창검증,포토셀모니터링
관련상품
2835：≥45nm설계노드를대상으로광대역duv-uv-가시광시광이있는패턴웨이퍼퍼사시스템
2367：≥65nm설계노드를대상으로광대역uv-가시광선광선이있는패턴웨이퍼퍼사시스템
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문의彪马™91xx.
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레이저스캐닝패턴웨이퍼결함검사시스템
彪马™9130및9150레이저이미징미징사기는uv빛빛사광학계와여러이미징센서센서를결합하여패턴된생산퍼에서중요한결함인검출을위한다양한한를제공제공제공제공제공제공제공제공제공제공제공제공제공제공제공제공제공제공제공제공제공제공제공제공제공제공제공제공제공제공제공제공제공합니다91xx는는높은샘플링，높은높은처리량및고감도를제공제공중요한전반（feol）및후반공정（beol）층에서수율에영향미치는결함보다효과적으로검출제어수적으로검출제어수있습니다。91xx는완전한혼합，맞춤형패턴웨이퍼퍼사전략을kla 2367전체스펙트럼uv /가시및및2835 duv / uv /가시광명시야명시야사기기를보완보완보완
응용분야
라인라인，설비설비，설비설비，박막박막，포토셀포토셀，노광노광후사
관련상품
PUMA 9150：uv빛빛사레이저기반이미징기술을사용한패턴이퍼퍼사。9150은은성능향상을위해서수직빛사
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