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비패턴웨이퍼결함검사시스템
Surfscan®비패턴웨이퍼검사시스템은반도체소자의성능과신뢰성에영향을주는결함과표면품질문제를식별합니다。파묻힌결함및표면결함을신속하게분리하고설비,공정및재료를검증하고모니터링하여IC, OEM,재료및기판제조를지원합니다。
응용분야
공정공정설비검증，설비모니터링，출하웨이퍼품질，입고웨이퍼품질，감광재감광재및스캐너，공정공정검증。
관련상품
Surfscan SP2XP：≥45nm설계노드기술을대상하는비패턴웨이퍼사시스템。
Surfscan SP2:기술≥65海里설계노드를대상으로하는비패턴웨이퍼검사시스템。
Surfscan SP1DLS正方观点:90海里이상의설계노드를대상으로하는비패턴웨이퍼검사시스템。
Surfscan SP1TBI.正方观点:≥130海里설계노드기술을대상으로하는비패턴웨이퍼검사시스템。
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电子束웨이퍼결함리뷰및분류시스템
edr.™-5210年전자빔(e -빔)웨이퍼결함리뷰및웨이퍼분류시스템은결함으로부터고해상도이미지를검출하여웨이퍼의결함개체수를정확하게표시합니다。eDR은IC및웨이퍼제조중더빠른수율학습을위해解放军검사기에독특한연결성을제공합니다。
응용분야
결함이미징,자동인라인결함분류및성능관리,베어웨이퍼출하및입고품질관리,웨이퍼분류,핫스팟검출,결함검출,공정마진창검출,공정마진창검증,빗면가장자리리뷰
edr.®은kbeplay体育下载2la公司의의상표입니다。
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200毫米실리콘웨이퍼기하구조시스템
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응용분야
웨이퍼공정모니터링및제어,출하웨이퍼품질관리(OQC)입고품질관리웨이퍼제조공장(IQC)
관련상품
本CSW1:硅、碳化硅、氮化镓、砷化镓(사파이어,SiC또는Si에서),通用电气및에피택시공정용150/200mm가교설비
本STR1:硅、碳化硅、氮化镓、砷化镓(사파이어에서,SiC또는Si),通用电气및에피택시공정용150/200mm가교설비,2 d응력옵션이포함
本BP1:硅、碳化硅、氮化镓、砷化镓、사파이어용얇은뒷면연마웨이퍼,절단또는연마용150/200mm가교설비
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150mm / 200mm웨이퍼기하기하구조
이전에UltraMap UMA-C200으로알려졌던本®csw1은베어웨이퍼기하기하측정시스템으로이퍼제조업체웨에이퍼제조업체제조업체되거나되거나，연마된그리고에피택시150mm및및및실리콘및기판과甘甘기판과기판과기판과공정을포함한공정검증하는사용두개의카세트가있는가교설비인csw1은150mm및200mm웨이퍼를를동시에수용수수수특허받은이중탐침，나노미터분해능의비접촉정전용량센서에에시스템출력에는두께，평탄도，형상，해당위치에대한가장자리장자리결과의고밀도2d및3d지도가포함포함。
응용분야
웨이퍼공정모니터링및제어,출하웨이퍼품질관리(OQC)
관련상품
本C200L / M:연마된실리콘및에피택셜웨이퍼제조업체를위한200毫米웨이퍼측정설비
本STR1:硅、碳化硅、氮化镓、砷化镓、사파이어및에피택시공정용150/200mm가교설비,2 d응력옵션포함
本BP1:硅、碳化硅、氮化镓、砷化镓、사파이어용얇은뒷면연마웨이퍼,절단또는연마용150/200mm가교설비
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150毫米및200毫米웨이퍼기하구조시스템
이전에UltraMap乌玛- 200 bp로알려졌던本®bp1은베어웨이퍼구조구조측정으로으로이퍼제조업체에서에서절단，연마된그리고그리고및sic기판과gan，gaas，사파이어및에피택시공정을을비롯한기타을검증데데용용기판검증하는데데용웨이퍼와와기판은원형또는사각형일각형일있으며최대최대최대최대최대최대최대최대최대있습니다수있습니다。다양한웨이퍼홀더를사용할할수bp1은2개의의받은비접촉식고해상도위치배압을사용하여웨이퍼두두，평탄도평탄도및형상을정밀하게측정측정bp1은매우유연한시스템광범위한광범위한이퍼웨두께모든와모든모든수수수를수수수웨이퍼표면표면마감은측정에영향을미치지해당설비는절단된，정밀하게마무리된또는광택웨이퍼를측정합니다。
응용분야
웨이퍼공정모니터링및제어,출하웨이퍼품질관리(OQC)
관련상품
本C200L / M:연마된실리콘및에피택셜웨이퍼제조업체를위한200毫米웨이퍼측정설비
本STR1:硅、碳化硅、氮化镓、砷化镓、사파이어및에피택시공정용150/200mm가교설비,2 d스트레스옵션포함
本CSW1:硅、碳化硅、氮化镓、砷化镓(사파이어,SiC또는Si),通用电气및에피택시공정을위한150/200mm가교설비
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