KlearView™
- 모든검사,계측,리뷰시스템이제공하는데이터의검토와분석을통합합니다。
- 레티클검사장비가검출한결함을자동으로분류합니다。
- 레티클검사장비가검출한결함의웨이퍼전사가능성을시뮬레이트합니다。
- 레티클헤이즈를분석하고레티클품질재검사중에열화를복구합니다。
- 결함의에어리얼이미지에대한종합적인분석을통해웨이퍼전사영향을예측합니다。
- 마스크SEM(주사전자현미경)이미지를기반으로EUV결함의인쇄적성전사가능성을분류하고시뮬레이트합니다。
- 통합LMS IPRO정확한위치등록계측정을위하여EUV마스크상의원하는목표지점또는그주변에측정가능한다른위치를제공합니다。
- EUV메모리마스크에대한최적의결함검출감도를위하여193海里검사광원조건을최적화합니다。
- 단일-다이레티클복구를위한기준으로서사용할수있도록정확한전자빔이미지를모델링합니다。
- 단일-다이설계데이터베이스를검색하여,복구처리을위한기준으로서사용할목표지점의반복패턴을찾습니다。