扩展人工智能的边界
혁신적 결함 검출
eSL10™ 전자빔 패턴 웨이퍼 결함 검사기（电子束图形晶圆缺陷检测器）는 人工智能가 통합된 克拉의 최초 공정 관리 시스템으로서 극단적으로 감지하지 어려운 결함 신호와 주위 패턴 및 공정 노이즈를 구분하는 딥 러닝 알고리즘을 사용합니다. eSL10은 人工智能를 활용하여 는 진화하는 검사 요구조건에 적응할 수 있으며, 첨단 디바이스의 성능에 가장 중대한 영향을 주는 결함을 구분하게 됩니다.
결함 분류의 재탄생
검사시스템은레티클,웨이퍼,패키지및PCB를위한주요결함을검출합니다。기존에는광학및전자빔결함이미지를리뷰하려면사람이결함유형을검증하는작업이필요했습니다。AI시스템은생산속도를유지하고에러를줄이면서결함을빠르게분류및구분하도록학습하고적응합니다。
스마트 제조
스마트 集成电路의 미래는 자동화, 최적화된 공장과 연결되어 제조될 것입니다. 人工智能시스템은 대량 데이터를 처리하여 추세 및 잠재 이탈점에 대한 인사이트를 확보하고 해당 지식을 활용하여 의사 결정을 내립니다. 품질, 수율 및 생산성과 제조 공정에 대한 완전한 가시성은 지속적인 개선에 필요한 추적 가능성을 제공할 수 있습니다.