KLA创新:SensArray®原位过程监控
2021年7月27日KLA的SensArray®晶圆片提供了一种独特的方法(其他方法无法提供)来监控工艺环境对半导体生产晶圆片的影响。测量被芯片制造商和过程设备制造商用来优化和控制他们的过程和过程工具。
KLA的SensArray®晶圆片提供了一种独特的方法(其他方法无法提供)来监控工艺环境对半导体生产晶圆片的影响。测量被芯片制造商和过程设备制造商用来优化和控制他们的过程和过程工具。
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