Sigma FXP - BAW和PIDZOMES的PVD
2021年6月15日谈话海报（带有字幕） - 裸射滤波器或压电滤光片的AlN或Alscn的物理气相沉积（PVD）简介。我们的SIGMA®FXP在ALN薄膜中相对于杂交厚度均匀性，薄膜应力控制和消除结晶缺陷提供了显着的益处。添加了钪以提高ALN的压电性能，但这使得PVD更具挑战性。该视频显示SPTS如何开发出独特的技术，以实现高掺杂的Alscn薄膜的成功沉积。（4分钟：44秒）
谈话海报（带有字幕） - 裸射滤波器或压电滤光片的AlN或Alscn的物理气相沉积（PVD）简介。我们的SIGMA®FXP在ALN薄膜中相对于杂交厚度均匀性，薄膜应力控制和消除结晶缺陷提供了显着的益处。添加了钪以提高ALN的压电性能，但这使得PVD更具挑战性。该视频显示SPTS如何开发出独特的技术，以实现高掺杂的Alscn薄膜的成功沉积。（4分钟：44秒）
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