扩大AI的界限
革命缺陷发现
作为我们第一个集成AI的过程控制系统，eSL10™ 电子束图案晶圆缺陷检测器采用深度学习算法，区分极其细微的缺陷信号和周围图案及工艺噪声。借助人工智能，eSL10可以适应不断变化的检测要求，隔离对前沿设备性能最关键的缺陷。
智能制造
智能IC制造的未来将利用工厂中的连接来驱动自动化优化。AI系统可以处理大规模的数据集，以欣赏到趋势和潜在的游览，并使用这些知识来做出决策。为了保持质量，产量和生产率，制造过程的全部可见度可以提供推动连续改进所需的可追溯性。
作为我们第一个集成AI的过程控制系统，eSL10™ 电子束图案晶圆缺陷检测器采用深度学习算法，区分极其细微的缺陷信号和周围图案及工艺噪声。借助人工智能，eSL10可以适应不断变化的检测要求，隔离对前沿设备性能最关键的缺陷。
智能IC制造的未来将利用工厂中的连接来驱动自动化优化。AI系统可以处理大规模的数据集，以欣赏到趋势和潜在的游览，并使用这些知识来做出决策。为了保持质量，产量和生产率，制造过程的全部可见度可以提供推动连续改进所需的可追溯性。
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