产品描述
p - 170是盒对盒探针式轮廓仪,将行业领先的P-17台式系统的测量性能和经过生产验证的合®-260的机械传送臂相结合。这样的组合为机械传送臂系统提供了极低的拥有成本，适用于半导体，化合物半导体和相关行业。p - 170可以对台阶高度,粗糙度,翘曲度和应力进行2 d和3 d测量,其扫描可达200 mm而无需图像拼接。
该系统结合了UltraLite®传感器、恒力控制和超平扫描平台，因而具备出色的测量稳定性。通过点击式平台控制、顶视和侧视光学系统以及带光学变焦的高分辨率相机等功能，程序设置简便快速。p - 170具备用于量化表面形貌的各种滤镜,调平和分析算法,可以支持2 d或3 d测量。并通过图案识别、排序和特征检测实现全自动测量。
主要功能
- 台阶高度:几纳米至1000μm
- 微力恒力控制:0.03至50毫克
- 样品全直径扫描，无需图像拼接
- 视频：500万像素高分辨率彩色摄像机
- 圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差
- 软件：简单易用的软件界面
- 生产能力:通过测序,图案识别和秒/宝石实现全自动化
- 晶圆机械传送臂:自动加载75毫米至200毫米不透明(例如硅)和透明(例如蓝宝石)样品
主要应用
- 台阶高度:2 d和3 d台阶高度
- 纹理:2 d和3 d粗糙度和波纹度
- 形状:2 d和3 d翘曲和形状
- 应力:2 d和3 d薄膜应力
- 缺陷复检:2 d和3 d缺陷表面形貌
工业应用
- 半导体
- 化合物半导体
- 领导:发光二极管
- 微机电系统:微机电系统
- 数据存储
- 汽车
- 还有更多：请与我们联系以满足您的要求
