ZFT:Zeta薄膜厚度

泽塔-300配有集成宽带光谱仪，可用于测量 30纳米至100微米的透明薄膜厚度。用户可以从材料数据库中选取的折射率值，该系统能够测量单层或多层堆叠膜厚度。并且可以绘制整片样品上的薄膜厚度分布用以确定样品的均匀性。

ZFT适用于一些反射率极低（例如反射率小于0.1%）的表面。许多薄膜厚度仪器依赖镜面反射光来计算相变或其他参数，因此难以从这些类型的表面获得信号。而该系统采用宽带白光和垂直入射照明并因此适用于各种反射率低的光学透明薄膜。

泽塔垂直扫描干涉测量技术

当与压电平台和干涉物镜结合使用时，泽塔-300支持相位扫描干涉测量技术（磅/平方英寸）和垂直扫描干涉测量技术（VSI）磅/平方英寸可以快速测量从埃级到几百纳米的台阶高度。 VSI则可以测量从几百纳米到几百微米的台阶高度。 两者都可以优于纳米级分辨率，并且与物镜的数值孔径无关。

泽塔干涉对比度

泽塔-300利用诺马斯基差分干涉对比显微镜可以提供精细表面细节的增强成像。诺马斯基显微镜使用偏振和棱镜来改变相位，以增强样品表面上的斜率变化。这样可以对超光滑表面上的缺陷（如单层污染物）进行可视化。齐克扫描模式将斜率的变化与另一种技术测量的粗糙度相关联，并将这些图像转换为亚纳米级粗糙度的定量测量。

泽塔剪切干涉测量技术

泽塔-300剪切干涉仪测量技术（ZSI）采用增加相位变化来增强齐克测量。通过收集多个不同相位的图像，然后采用高级算法进行处理以完成具有埃级分辨率的表面形貌的定量测量。该技术不需要干涉物镜，也没有Z平台扫描，从而可以实现从埃级到80nm的高分辨率测量。

物镜

系统配有各种物镜，包括1.25倍至150倍普通物镜、长工作距离物镜、超长工作距离物镜、折射率校正物镜、透射物镜、液浸式物镜和垂直扫描干涉仪物镜。

耦合器

泽塔-300可配置四个不同的光学耦合器，以改变光学放大倍率。系统可配置1x耦合器以保持原始放大率，或配置0.35倍，0.5倍或0.63倍耦合器增加放大倍率。

物镜镜头架

泽塔-300可配置5.或6.位手动物镜架和用于自动物镜识别的物镜传感器。该系统还可配置6.位电动物镜架并实现全自动操作。

样品照明

泽塔-300的标准照明是双高亮度白光带路。对于挑战性的透明样品（如图案化蓝宝石基板（PSS））透过样品卡盘的背光也可增强光线。泽塔-300还提供侧面的暗场照明。

平台

泽塔-300可以配置各种平台以提高系统性能。可以选用压电Z轴平台以提高Z分辨率，从而能采用兹多特或慈溪测量模式对纳米级台阶高度进行测量。Z平台可以安装在旋转接头上，使探头绕样品旋转，改变表面入射角。可选的280毫米Z塔可以容纳大型部件，例如平板电脑，手机和大型机器部件。XY平台可配置手动300毫米位移或电动150或200毫米位移。 可以在XY平台上添加手动旋转台。 还可以选择手动倾斜平台以在干涉测量中调平平台。

样品卡盘

泽塔-300提供一系列样品卡盘可支持各种应用要求。 背光卡盘可以透射照明并适用于透明基板，这是图案化蓝宝石基板所需要的。还支持多种晶圆尺寸，包括300毫米和多个样品卡盘。如果我们没有您需要的卡盘，请联系克拉满足您的要求。

隔离工作台

泽塔-300具有内置于系统底座的被动隔离。对于需要更好隔离的应用，可以选用主动隔离工作台。泽塔-300具有隔音罩选项，可将系统与环境噪音相隔离，从而增强纳米级台阶和粗糙度的测量能力。

台阶高度和薄膜厚度标准

泽塔-300采用超大规模集成电路标准提供的薄膜和厚膜NIST可追踪台阶高度标准。该标准采用有铬镀层的蚀刻石英台阶。台阶高度的测量范围是8nm至250μm

系统配有多台阶认证标准包括8、25、50和100μm的标称台阶高度。 该标准具有用于XY校准的各种间距图案。 薄膜厚度的认证标准适用于ZFT该标准采用参考硅表面和标称270nm二氧化硅薄膜厚度。 此外还提供粗糙度和镜面参考样品。

自动测序软件

自动测序软件利用电动XY平台，允许用户对样品上的测量位置进行编程。系统将自动对每个位置进行测量并将结果保存在用户定义的文件夹中。最终输出的报告包含样本统计信息以及汇总结果。

高级测序软件采用图案识别以自动对齐样品。这样可以减少人为错误的影响并实现全自动测量。在平台上采用嵌入式标准以启动自动校准。

拼接软件

自动图像拼接软件利用电动XY平台将相邻的扫描组合在一起以生成比单个视野更大的拼接数据集。系统自动测量每个点、对齐图像，并将它们组合成一个数据集。其结果可以像任何其他结果文件一样进行分析。

顶分析软件

顶分析软件通过水平、过滤、阶梯高度、粗糙度和表面形貌分析技术的扩展套件，增强了设备的标准数据分析能力。 顶支持国际标准化组织粗糙度计算方法以及例如美国机械工程师学会的本地标准。 顶还可用作报告编写平台，具有添加文本、注释和是/否合格的功能。 顶提供八种语言的版本。

离线分析软件

泽塔-300离线软件具有与设备软件相同的数据分析和配方创建功能。这使用户无需占用宝贵的设备时间即可创建配方并分析数据。