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附件31.1

首席执行官证书

根据通过的《交易法》第13a-14（a）/15d-14（a）条

根据2002年《萨班斯-奥克斯利法案》第302节

一、 Richard P.Wallace，证明：


1.	我已审查了KLA Tencor公司10-Q表中的本季度报告；


2.	据我所知，本报告不包含任何关于重大事实的不真实陈述，也不遗漏任何必要的重大事实，以根据作出该等陈述的情况，就本报告所涵盖的期间而言，不具有误导性；


3.	据我所知，本报告中包含的财务报表和其他财务信息在所有重大方面公允反映了注册人截至本报告所述期间的财务状况、经营成果和现金流量；


4.	注册人的其他证明人和本人负责为注册人建立和维护披露控制和程序（定义见《交易法》第13a-15（e）条和第15d-15（e）条）以及财务报告内部控制（定义见《交易法》第13a-15（f）条和第15d-15（f）条），并具有：

（a）设计此类披露控制和程序，或在我们的监督下设计此类披露控制和程序，以确保与注册人（包括其合并子公司）相关的重要信息由这些实体内的其他人向我们披露，特别是在编写本报告期间；

（b）设计财务报告的内部控制，或使财务报告的内部控制在我们的监督下设计，为财务报告的可靠性提供合理保证，并根据公认会计原则为外部目的编制财务报表；

（c）评估了注册人披露控制措施和程序的有效性，并在本报告中提出了我们关于披露控制措施和程序有效性的结论，截至本报告所述期间结束时，基于此类评估；和

（d）在本报告中披露了注册人最近一个财政季度（对于年度报告，为注册人的第四个财政季度）期间发生的对财务报告的内部控制的任何变化，该变化已对或可能对财务报告产生重大影响，注册人对财务报告的内部控制；和


5.	根据我们对财务报告内部控制的最新评估，注册人的其他证明人和我已向注册人的审计师和注册人董事会的审计委员会（或履行同等职能的人员）披露：

（a）财务报告内部控制设计或运行中的所有重大缺陷和重大缺陷，合理可能会对注册人记录、处理、汇总和报告财务信息的能力产生不利影响；和

（b）涉及管理层或在注册人财务报告内部控制中发挥重要作用的其他员工的任何欺诈，无论是否重大。