附录23.1独立会计师的同意我们在此通过参考我们2000年7月24日的报告表格S-8上的注册声明,同意公司成立,但2000年8月15日的附注9与KLA-Tencor公司的合并财务报表有关,在k - tencor公司截至2000年6月30日的10-K年度报告中。本公司亦参考本公司于2000年7月24日提交的有关财务报表附表的报告(载于表格10-K的周年报告内),同意成立为法团。/ s /普华永道 ------------------------------------- 2001年5月11日,加州圣何塞