展览5.1 2001年5月14日KLA-Tencor Corporation 160 RIO ROBERS San Jose,加利福尼亚州95134 Re:关于S-8女士们,先生们的注册声明:我已经审查了KLA-Tencor Corporation的表格S-8的注册声明(“公司”)beplay官网ued与2001年5月14日或约5月14日的证券交易委员会(“注册声明”)与1933年证券法案的注册有关,经修订,该公司的总额为5,600,000股股份公司2000年非间意股票期权计划下的普通股(“股份”)(“计划”)。beplay官网ued作为法律顾问,我已经审查了所采取的诉讼程序,并熟悉本公司根据该计划发行和销售股份所采取的诉讼程序。beplay官网ued这是我认为,在计划中提到和根据该计划的协议签发和销售时,股份将在法律上且有效地发布,全面支付和不可评估。beplay官网ued我同意使用这种意见作为注册声明的展览,并进一步同意在注册声明和任何修正案中出现的任何职位。真诚的,/ s / stuart J. Nichols -------------------------------------- - 斯图尔特J. Nichols,副总裁兼将军顾客克拉 - 滕戈尔公司