展览5.1 2001年5月14日KLA-Tencor Corporation 160 RIO ROBERS San Jose，加利福尼亚州95134 Re：关于S-8女士们，先生们的注册声明：我已经审查了KLA-Tencor Corporation的表格S-8的注册声明（“公司”）beplay官网ued与2001年5月14日或约5月14日的证券交易委员会（“注册声明”）与1933年证券法案的注册有关，经修订，该公司的总额为5,600,000股股份公司2000年非间意股票期权计划下的普通股（“股份”）（“计划”）。beplay官网ued作为法律顾问，我已经审查了所采取的诉讼程序，并熟悉本公司根据该计划发行和销售股份所采取的诉讼程序。beplay官网ued这是我认为，在计划中提到和根据该计划的协议签发和销售时，股份将在法律上且有效地发布，全面支付和不可评估。beplay官网ued我同意使用这种意见作为注册声明的展览，并进一步同意在注册声明和任何修正案中出现的任何职位。真诚的，/ s / stuart J. Nichols -------------------------------------- - 斯图尔特J. Nichols，副总裁兼将军顾客克拉 - 滕戈尔公司