证物5.1,1995年4月19日，美国证券交易委员会司法广场450第五街，N.W. Washington, D.C. 20549作为特拉华州公司KLA仪器公司(“本公司”)的法律顾问，我们就本公司拟议出售至多1,725,000股普通股，以$。beplay官网ued面值(“普通股”)。我们已经检查了所有我们认为相关和必要的文书、文件和记录，为我们在下文表达的意见的基础。在该等审查中，我们已假定所有签名的真实性和提交给我们的所有正本文件的真实性，以及提交给我们的所有副本文件的真实性。基于这样的检查,我们认为的1725000股普通股发行和出售的公司(其中,要发行225000股,来满足可能出现的超额认购如果有的话)是正式授权的普通股股票,当你发出支付购买价格因此,将有效发布,beplay官网ued已付且不应评税。我们特此同意将此意见作为上述注册声明的展示文件存档，并同意在上述注册声明中出现我们的名称的任何地方使用我们的名称，包括作为其一部分的招股说明书，无论是最初存档的还是后来修改的。谨此，格雷凯里制品有限公司是一家专业的公司