证物5意见合法性14 [GRAY CARY WARE & FREIDENRICH LETTERHEAD] 1995年1月18日证券交易委员会第五街450号，N.W. Washington特区20549 RE:KLA仪器公司-表格S-8登记可根据个别股票期权协议发行的股票的声明，第二次修订和重申1981年雇员股票购买计划和1982年股票期权计划作为特拉华州公司KLA仪器公司(以下简称“公司”)的法律顾问，我们就根据《1933年证券法》(经修订)注册的1903229股普通股，票面价值0.001美元，提beplay官网ued出以下意见。根据37个独立beplay官网ued的metrogix, Inc.授予的期权和购买权的行使，可发行该等股票。由KLA仪器公司承担的员工股票期权协议(“协议”)、KLA仪器公司第二次修订和重申的1981年员工股票购买计划和1982年股票期权计划(合称“计划”)。我们已经检查了所有我们认为相关和必要的文书、文件和记录，以作为我们在下文表达意见的基础。在该等审查中，我们已假定所有签名的真实性和提交给我们的所有正本文件的真实性，以及提交给我们的所有副本文件的真实性。我们承认实践只有在加州和我们没有表达任何意见关于加州的法律以外的其他法律,特拉华州的公司法律和美国的联邦法律。15证券交易委员会第2页作为特拉华公司法的问题,我们的意见完全是根据我们对这些法律以及执行这些法律的当局的规章和条例的审查而提出的，所有这些都已编入标准的非官方汇编。我们没有获得在加利福尼亚州以外的司法管辖区执业的律师的意见。 Based on such examination, we are of the opinion that the 1,903,229 shares of Common Stock which may be issued upon exercise of options and purchase rights granted under the Agreements and the Plans are duly authorized shares of the Company's Common Stock, and, when issued against payment of the purchase price therefor in accordance with the provisions of the Agreements and the Plans, will be validly issued, fully paid and non-assessable. We hereby consent to the filing of this opinion as an exhibit to the Registration Statement referred to above and the use of our name wherever it appears in said Registration Statement. Respectfully submitted, /s/ Gray Cary Ware & Freidenrich GRAY CARY WARE & FREIDENRICH A Professional Corporation 16