1。

我已经审查了有关KLA-Tencor Corporation表格10-Q的季度报告；

2。

根据我的知识，本报告不包含任何不真实的陈述，或者忽略了鉴于发表此类陈述的情况，没有对该时期的误解，以陈述做出陈述所必需的重大事实该报告涵盖；

3。

根据我的知识，本报告中包含的财务报表和其他财务信息，在所有材料中公平地呈现在本报告中介绍的期限以及本报告中介绍的期限；

4。

The registrant’s other certifying officer(s) and I are responsible for establishing and maintaining disclosure controls and procedures (as defined in Exchange Act Rules 13a-15(e) and 15d-15(e)) and internal control over financial reporting (as defined in Exchange Act Rules 13a-15(f) and 15d-15(f)) for the registrant and have:

（a）设计此类披露控制和程序，或在我们的监督下设计了此类披露控制和程序，以确保与我们在内的实体，包括其合并子公司在内的注册人有关的物质信息，包括其合并子公司，特别是在准备报告的期间；

（b）在我们的监督下设计了对财务报告的内部控制，或者导致对财务报告的这种内部控制，以便在财务报告的可靠性和为外部目的的财务报表的可靠性和为外部目的准备的合理保证会计原则;

（c）评估了注册人的披露控制和程序的有效性，并在本报告中介绍了我们关于披露控制和程序有效性的结论，截至本报告涵盖的期限结束时，根据该评估；和

(d) Disclosed in this report any change in the registrant’s internal control over financial reporting that occurred during the registrant’s most recent fiscal quarter (the registrant’s fourth fiscal quarter in the case of an annual report) that has materially affected, or is reasonably likely to materially affect, the registrant’s internal control over financial reporting; and

5。

注册人的其他认证官和我根据我们对财务报告的内部控制的最新评估，向注册人的审计师和注册人董事会的审计委员会（或执行等效职能的人员）披露：

（a）内部控制财务报告的设计或操作中所有重大的缺陷和物质弱点，这很可能会对注册人的记录，处理，总结和报告财务信息的能力产生不利影响；和

（b）任何涉及管理人员或其他员工在注册人对财务报告内部控制中发挥重要作用的欺诈行为。

2006年2月3日

/ S/ Richard P. Wallace

（日期）

理查德·华莱士（Richard P. Wallace）

首席执行官

（首席执行官）